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半導体製造におけるサステナブル開発の革新 - SCREENグループが挑む、有機廃液削減技術とは

（写真）SCREENが誇るグローバルシェアNo. 1の洗浄装置。左からウェットステーション、スピンスクラバ、枚葉式洗浄装置

SCREENが誇るグローバルシェアNo. 1の半導体洗浄装置。
左からバッチ式洗浄装置、スピンスクラバー、枚葉式洗浄装置

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