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クリム・キャンパスで見た半導体の性能保証を担うための最前線の取り組み

図6 (上)ダイテストシステム(ダイソーター)側面、(下)ダイテストシステムの前面。トレイを収納した密閉箱を置くEFEM(Equipment Front End Module)。奥に小さく見えるのが2台の無人搬送車

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