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A64FXは64bitのAArch64アーキテクチャだけをサポートし、それに加えてSVE命令をサポートしている。7nmのFinFETプロセスで作られ、8,786Mトランジスタを集積する。チップは52個のプロセサコアとTofuインタコネクトのコントローラ、PCIeコントローラを持つ。メモリには4個のHBM2を使用している

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