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アルミニウムナノワイヤの大量森状成長手法、名大が開発

(左)今回のアルミニウムナノワイヤ成長機構を示すイメージ。ケイ素(Si)の基板上にアルミニウム(Al)と酸化アルミニウム(Al₂O₃)からなる薄膜を堆積。(1)原子の上昇流(climb flow)が起きる。(2)原子の流れ込み(sink flow)が起きる。(3)アルミニウムナノワイヤ(Al NW)が成長していく。(右)実験で成長させたナノワイヤの本数密度と長さのグラフ。縦軸の値が最大で180×10⁵/cm²だった (出所:共同プレスリリースPDF)

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