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名大、大面積ナノシートの高速成膜法「自発集積転写法」を開発

自発集積転写法。(a)成膜操作のイメージ。(b)酸化チタンナノシートの成膜操作。(c)金魚すくい転写のイメージ。(d)金魚すくい法による酸化チタンナノシート単層膜の転写。(e)2インチシリコン(Si)基板上に成膜されたナノシート単層膜の光学画像。(f)共焦点レーザー顕微鏡と原子間力顕微鏡(挿入図)による膜質評価。ナノシートがジグソーパズルのように緻密に配列していることがわかる(出所:名大プレスリリースPDF)

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