名大など、水素原子の約1/20の超高精度で収差補正できるX線顕微鏡を開発

変形性能の評価結果。(上)安定性が低いと、変形直後と数時間後で形状が異なるが、新型ミラーでは7時間後も0.17nmしか変化していなかった。図の各線は電圧印加直後からの1時間ごとの変化を意味する。また、印加電圧と変形量のグラフ(下・左)より良い線形性が確認され、直線からのずれは0.06nmだった(下・右)(出所:名大プレスリリースPDF)