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東工大、水素と触媒反応を活用して低接触抵抗「IGZO-TFT」の開発に成功

内部接触界面の問題を解決する戦略。(a)水素輸送電極の水素解離触媒能を用いた、高活性原子状水素と酸化物の反応の模式図。(b・c)金属中の水素の拡散係数および水素溶解度の実験値。パラジウムの高い水素拡散能と適度な溶解度が活性水素の高速輸送を可能とする(出所:東工大プレスリリースPDF)

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