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東北大、1桁nmプロセスのSTT-MRAMを実現する微細化技術を確立

今回の研究で作製されたMTJ素子に対して行われた、(a)データ保持特性の温度依存性を特徴づけるスケーリング指数、(b)高速性を特徴づける緩和時間の測定結果。(a)の破線は形状磁気異方性のみを考慮した場合のスケーリング指数の理論値。(b)の曲線は理論式によるフィッティング結果(出所:東北大プレスリリースPDF)

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