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東北大、1桁nmプロセスのSTT-MRAMを実現する微細化技術を確立

今回の研究で提案された積層磁性層構造。データ保持特性を重視する場合、CoFeB層膜厚を厚くし、CoFeB/MgO層の積層回数を少なくすることで形状磁気異方性の割合を増やす。書き込み速度を重視する場合、CoFeB層膜厚を薄くし、CoFeB/MgO層の積層回数を増やすことで界面磁気異方性の割合を増やす(出所:東北大プレスリリースPDF)

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