1時間を要したナノシート成膜を1分に短縮　名大が開発した新技術とは

二次元ナノシートの高速・液相製膜。(a)自動製膜装置の全体写真。(b)自動製膜装置の製膜風景。(c)酸化チタンナノシートの製膜結果。(c・左)1インチSi基板上に製膜したナノシート単層膜の光学写真。(c・右)原子間力顕微鏡による膜質評価。ナノシートがトランプを並べるように緻密に配列していることがわかる(出所:名大プレスリリースPDF)