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EUV露光の高出力化に期待、北大が光源プラズマ流の観測に成功

(a)プラズマ生成前のSnターゲットの影絵像。(b)プラズマの電子密度(上側)と電子温度(下側)のプロファイル。レーザーは図の左から右に照射されている。レーザー軸上はEUV放射に最適な温度30～40eV(1eVは約1万度)であり、密度は周辺部の方が高い中空様構造が確認された (出所:北大プレスリリースPDF)

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