お知らせ: 酷似サイトにご注意ください

レポート

キヤノン、次世代後工程向けに0.8μmの解像力を提供するi線半導体露光装置を発表

露光画角の例。左が前工程の標準画角(26mm×33mm)、中央がFPA-5520iV LF2オプションによる52mm×68mmの露光(26mm×33mmを2行2列で配置できるサイズ)、右がFPA-5520iV LF2オプションによる50mm×50mmの4ショットつなぎ露光 (画像提供:キヤノン)

33

記事ページに戻る

編集部が選ぶ関連記事

アクセスランキング

ランキングをもっと見る

もっと見る

このカテゴリーについて

インテルや東芝といった半導体メーカーや、CPU、メモリなどの半導体デバイスに関わる情報、市場トレンドといったホットなニュースを毎日更新。注目のIoTや自動運転など、半導体の適用範囲の拡大とともに成長が続く半導体業界の話題を詳細な説明付きで紹介します。