理科大、「UVナノインプリントリソグラフィ」に適した樹脂の特徴を確認

TPGDAの充填シミュレーション結果。時間経過に伴う全体の体積変化(左)と、3nm幅(中央)および2nm幅(右)のトレンチでのシミュレーション終了時のスナップショット。2nm幅のトレンチへの充填プロセスは、今回のシミュレーション終了時には完了しなかったが、レジストは有限の時間内にトレンチを充填することが判明した (出所:理科大Webサイト)

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