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半導体設備投資総額推移。プロセスの微細化により、工程が複雑となり、必要とする装置台数が増加するほか、EUVを中心に1台数億ドル規模の製造装置を複数台導入する必要があり、必然的に最先端半導体工場を建てようとすると莫大な費用をかけることが求められるようになってきている (資料提供:Omdia)

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