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2種類の代表的な酸化物の熱脱離によるCO不純物量測定(ア)、IGZO TFT(イ)およびITZO TFT(ウ)のNBTS試験結果。両者では、CO不純物の濃度はほとんど同じだが、不安定性はまったく異なっている (出所:東工大プレスリリースPDF)

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