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JSTなど、SiCパワー半導体の高発熱密度化に対応した冷却システムを開発

冷却面温度と冷却性能の関係。沸騰促進体を用いた実験により、水冷媒(赤丸)とフッ素系不活性液体冷媒(青三角)を用いた場合の冷却面温度と熱流束が求められた。(a)薄紫色部分:サーバーの冷却に用いる性能領域。(b)黄色部分:Si半導体用途で使う性能領域。(c)水色部分:SiCパワー半導体用途で使用が想定される性能領域 (出所:JSTプレスリリースPDF)

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