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韓国勢の出願が増加する韓国でのEUV関連特許、日本勢はフォトマスクで健闘

EUV関連特許の韓国系と外国系の出願比率の推移。青色:韓国系の割合、橙色:外国系の割合 (出所:韓国特許庁)

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