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フローティングゲートからチャージトラップRG方式への変更。ゲート材料もポリシリコンからメタルに変更、ストレージ部分のSiN膜を採用。チャネル径は同じでもエッチ径が広く取れるのでエッチングしやすくなった (出所:Micron Webサイト)

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