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今回開発されたHVPE装置の外観写真と模式図(上)とAlInGaPやAlAs成膜室の模式図(下) (出所:産総研Webサイト)
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太陽光発電や風力発電、スマートエナジー、SiC、GaNなどの次世代エネルギー技術に関する話題をお届けします。