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レポート

ムーアの法則の継続に朗報、Imecが3nmノード対応21nmピッチBEOL配線を実証

ITF USA 2019で公開された21nm M2メタルピッチテストチップに関するデータ。テストチップの構造(左上)、メタルピッチ数値、マスク、使用リソグラフィの説明(左下)、信頼性に関する実験データ(中央)、RC遅延の実験データ(右上)および測定で得られた諸特性(右下) (出所:Imec)

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