ビッグデータ/人工知能の活用で半導体製造を革新 - 東芝メモリの挑戦

製品、不良種別、不良発生傾向、発生トレンド、原因装置候補の表示例(名称や数値などは架空)。東芝メモリ社内では「歩留新聞」と呼んでおり、毎朝発行されているという。全製品・全不良種別のウェハ面内の不良発生傾向、発生トレンド、原因装置候補の一覧を確認でき、技術者が解析結果を解釈する作業を支援している (出所:東芝デジタルソリューションズWebサイト)