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レポート

SEMICON Japan 2018 - 新GUIで操作性の向上を提案するディスコ

KABRA!zenのデモの様子。インゴットを投入すると、一切人の手を介さずウェハとなって出てくる。ウェハメーカーにとってはクリーン化や省人化にもつながるある意味夢のソリューションといえる

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