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レポート

Samsungが注力するファウンドリビジネス - 7nmはEUVを完全採用

Photo05:現在同社のFab S3で稼働しているのは「NXE:3400B」で、フル稼働だと125 Wafer/hourの露光スループットを持つ。ただ、まだ24時間の連続稼働(＝3000 Wafer/day)は無理で、もっとスループットは下がる模様

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