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レポート

製造装置に後付けできるAIによる異常検知ソリューション - ルネサスが開発

ルネサスの那珂工場で行われた実証実験では、数十台のAIユニットソリューションを、エッチングなどのクリティカルな工程に適用することで、上流での不良ウェハ判定を実現。歩留まりの向上や生産枚数の増加により、6か月の試験期間で5億円の改善効果を得られたという (提供:ルネサスエレクトロニクス)

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