HORIBA、半導体製造装置向け10mm幅の大流量マスフローコントローラ「DZ-107」を発売

HIRIBAグループで半導体事業を担う堀場エステックは1月14日、超薄型マスフローコントローラー「DZ-100」シリーズの最新製品「DZ-107」を発売したことを発表した。

同製品は近年の半導体デバイスの微細化や高集積化におけるエッチングや成膜工程などにおけるマスフローコントローラに対する要求水準の高度化に対応することを目指して開発されたマスフローコントローラ。新開発の制御バルブを採用することで、フルスケール流量を従来機の3SLM(Standard Liters per Minute)から約7倍の20SLMに大流量化したことで、エッチングだけでなくCVDやALDといった大流量のガス制御を必要とする成膜技術におけるアプリケーションにも幅広く対応することが可能となったという。