三菱ケミカル、半導体向け高純度合成石英粉の生産能力増強を決定

三菱ケミカルグループは12月19日、半導体用シリコンインゴットの製造に用いられる石英るつぼや半導体製造装置内部の高純度石英パーツの原料として用いられる合成石英粉「三菱合成石英」の同社九州事業所・福岡地区における生産能力増強を決定したことを発表した。

石英るつぼの表面は、シリコンインゴットの製造工程において、ウェハの品質を劣化させる不純物の混入を抑制する必要性から高い純度が求められている。