Lam Researchは、半導体ファブにおける半導体製造装置の重要なメンテナンス作業を最適化するために設計された協働ロボット(Cobot)「Dextro」の提供を開始したことを発表した。

すでにDextroは、世界中の複数の先端ウェハファブに導入され、装置のダウンタイムや製造のばらつきを最小限に抑える正確かつ高精度なメンテナンスを実現しているという。これにより、メンテナンス後の初回成功率(初めから順調にプロセスが行え、所望の結果が得られる割合)を示すFTR(First-Time-Right)が向上し、歩留まりの向上が可能になるという。

  • ファブにおける半導体製造装置のメンテナンス向け協働ロボット「Dextro」

    ファブにおける半導体製造装置のメンテナンス向け協働ロボット「Dextro」。ロボットアーム自体はUniversal Robotsのものが用いられている模様である (出所:Lam Research)

  • 半導体製造におけるDextro導入の利点

    半導体製造におけるDextro導入の利点 (出所:Lam Research)

Dextroが実際に動作している様子

一般的にファブでは数百という製造装置が稼働し、それぞれが定期的なメンテナンスを必要としている。

Dextroは、そうしたメンテナンス作業をサブミクロンの制度で再現性良く実施することで、製造装置の費用対効果を高めることを可能にするという。複雑化するプロセスに対してファブエンジニアの作業効率も最適化する必要があるが、熟練者の数は世界的に不足しているという課題を解決する必要がある。特に装置メンテナンスでは精度が求められ、構成する各サブシステムを正確に再組立することが最終的な歩留まり、そして収益につながるため、FTRの達成が重要になってくる。

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