パワーデバイス向け6インチGaN on GaNウェハ量産技術の確立へ、住友化学がNEDOプログラムに採択

住友化学は11月20日、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の2024年度「脱炭素社会実現に向けた省エネルギー技術の研究開発・社会実装促進プログラム」における「パワーエレクトロニクス用大口径GaN on GaNウェハの開発」に関する事業に採択されたことを発表した。

GaN on GaNウェハは、従来のSi基板やサファイア基板、SiC基板の上にGaN層を成長させる手法とは異なり、GaN基板の上にGaN層を成長させることで、従来以上の電気特性や熱特性、品質の改善が期待される技術だが、基板サイズがほかの2種類の手法と比べて小さく、商用化にあたっては基板サイズの大型化が求められていた。