荏原実業は、環境に配慮した2種類の水銀フリーのオゾンモニタを開発したことを発表した。

同社は、オゾン測定技術を中核に据え、オゾンの適正利用に必要なオゾンモニタや、さまざま条件に合わせて正確な測定ができるよう前処理システムとオゾンモニタを組み合わせたオゾン濃度測定装置などの開発・設計・製造・メンテナンスを手掛けており、上下水道施設の高度処理プロセスや半導体工場の製造プロセスなどの分野でも数多く利用されてきた実績を有している。今回開発された新製品群は、環境に対する社会的な関心の高まりを受けて、UV-LEDを光源に採用することで水銀フリーを実現しつつ、高精度な測定を可能にした点が特徴だとしている。

新製品の1種類目は上下水道施設向け高精度オゾンモニタ「EG-3100シリーズ」で、水銀フリー化かつ同社独自の発光補正技術により低圧水銀ランプ製品と同等精度を実現。シリーズラインナップとして、浄水プロセスのオゾン処理におけるすべてのガス測定ポイントを網羅する製品群を用意したほか、高精度かつ高分解能を実現しているため研究・開発用途にも適用可能だという。

2種類目は半導体製造プロセス向けインライン型オゾンモニタ「EG-690」で、こちらもEG-3100シリーズ同様、水銀フリー化を図りつつ低圧水銀ランプ製品と同等精度を実現している。また、半導体製造プロセス(生産ライン)のオゾンガス配管にインラインで設置可能な、装置組込に適したスモールフットプリントを特徴としている。

なおEG-3100シリーズ、EG-690ともに、2024年4月より受注を開始する予定となっている。