半導体生産の歩留まり向上に欠かせないウェハ欠陥検査装置

日立ハイテクは、半導体生産ラインにおいてパターン付ウェハ表面上の異物や欠陥を検査する暗視野式ウェハ欠陥検査装置「DI4600」を発売したことを発表した。

  • 暗視野式ウェハ欠陥検査装置「DI4600」の外観

    暗視野式ウェハ欠陥検査装置「DI4600」の外観 (出所:日立ハイテク)

パターン付ウェハ検査装置は、半導体生産ラインにおいて加工中のウェハ上の異物や欠陥を検査することで、半導体製造装置の状態変化や傾向を捉え、歩留まり管理に貢献する検査装置。近年、半導体のプロセス微細化や複雑化が進み、製造プロセスおよび検査項目・精度に対する要求も高度化、特に製造コスト低減が重要視されるようになってきたという。

暗視野式ウェハ欠陥検査装置「DI4600」の特徴

同装置では異物や欠陥情報の検出に必要な光や信号などのデータ処理能力を向上させることを目的とした専用サーバーを追加したことで、より高精度な検出が可能としたほか、ウェハ搬送時間の短縮やウェハ検査中の動作の改良、データ処理シーケンスの最適化などにより、従来機種比で約20％のスループット向上も実現したという。

これらの機能を活用することにより、迅速かつ高精度な半導体製造ラインの状態管理が可能となるため、同社では同装置を活用することで、生産現場における歩留まり向上およびコスト競争力強化に貢献できるだろうとしているほか、今後も顧客の半導体製造プロセスにおける加工・計測・検査工程でのさまざまなニーズに対応していきたいとしている。