オーストリアEV Group(EVG)は、同社の自動レジスト処理装置「EVG 150」として、新たに最先端パッケージング、MEMS、高周波(RF)、3Dセンシング、パワーエレクトロニクス、フォトニクスなどの次世代ニーズに対応する200mmウェハ対応の新モデルを発表した。

新モデルのEVG150 プラットフォームは、前世代プラットフォーム比で、最大80％のスループット向上、同約50％に縮小したフットプリントなどのほか、先端機能の追加と更なる機能の拡張を実現したとしている。

  • 自動レジスト処理装置「EVG150」

    自動レジスト処理装置「EVG150」 (出所:EVG Webサイト)

この次世代EVG150システムの最初の顧客は、EBS(Electronic Based Systems)の主要研究機関である「Silicon Austria Labs」で、同研究センターのマイクロシステム研究部門の責任者であるMohssen Moridi (モーセン・モリディ)氏は、「大手メーカーとの共同研究を通じて、Industrie 4.0、IoT、自動運転、サイバーフィジカルシステム(CPS)、人工知能(AI)、スマートシティ、スマートエネルギー、スマートヘルスの基盤を構築する重要な技術を開発している。EVGの次世代EVG150は、高い柔軟性を有しており、EBSのイノベーションを促進するために研究を進める顧客とともに、新たなプロセスと製品の大量生産の道を切り開くことに役立つ」と述べている。