Intel Irland、Intel 4での量産に向けた製造装置の搬入を開始

Intelは、アイルランドの半導体工場Intel Irelandが、70億ドル(約8000億円、1ドル=140円換算)を投じて2019年から建設を進めてきたIntel 4(旧7nmプロセス)対応ファブFab 34が完成し、製造装置の搬入を開始したことを1月19日(米国時間)に発表した。

Intel Ireland。中央が新設されたIntel 4プロセス対応のFab 34(出所:Intel Ireland)

搬入第1号はフォトレジストを塗布・現像するためのコーター・デベロッパ装置で、同社が公表した写真の外観から東京エレクトロン製クリーントラック「LITHIUS Pro」とみられる。同装置は、米オレゴン州の試作工場から搬出された後、アイルランドのリークスリップにあるIntel Ireland工場に搬入された。

同装置は、ASMLのEUV露光装置と連動して使用されることになっている。このほか、Fab 34では全部で約1200の装置が搬入される予定で、2023年よりEUVを用いたIntel 4プロセスを用いたCPUの製造を開始する予定になっている。

なおIntelは、Irelandのほかにも、米アリゾナ州、ニューメキシコ州、オレゴン州およびマレーシア(後工程ファブ)で合計数兆円規模の新たな製造インフラストラクチャを構築することを計画しており、新たに米国オハイオ州でも工場の建設を発表し、間もなく欧州での新たな工場サイトを発表するとしている。