ASMLは1月19日(欧州時間)、2021年第4四半期および通年の業績発表を行った。それによると、2021年通年売上高は前年比33.1％増の186億1100万ユーロ(約2兆4000億円、1ユーロ=130円換算)、純利益は同65.5％増の58億8300万ユーロとなったという。

アプリケーション別の売上高は、ロジックが95億8900万ユーロ、メモリが40億6400万ユーロ、保守管理が49億5800万ユーロとしている。

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    ASMLの過去5年間の売上高の用途別内訳 (出所:ASML決算資料、以下すべて)

2021年は42台のEUV露光装置が出荷

ASMLによると、2021年の年間受注額は262億4000万ユーロで、EUVのみならず、露光装置全体で生産能力が足りなくなっている一方で、顧客からは早期納入が求められている状況となっており、最終検査を客先に納入した後に実施するなどして生産サイクルタイムの短縮を図っているとしている。

また、同年の露光装置販売台数は新品が286台(2020年は236台)、中古が23台(同22台)で、波長別に見ると、EUVが42台、ArF液浸が81台、ArFが22台、KrFが131台、i線が33台となり、EUVは前年比で11台増加している。

露光装置の出荷先を国・地域別で見ると、台湾が44％、韓国が35％、中国が16％、米国が5％、日本が1％となっている。EUV露光装置の中国への出荷は、米国政府からの要請を受けたオランダ政府が輸出許可を出していないものの、それ以下のArFなどについては規制されていない。

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    露光技術別、最終用途別、販売先の国・地域別で見た2021年通年の売上高

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    露光技術別、最終用途別、販売先の国・地域別で見た2021年第4四半期の売上高

それぞれの事業部でのトピックスを見ると、EUV事業では、第4四半期に高NA EUV(NA=0.55)露光装置のプロトタイプ「TWINSCAN EXE:5000」を1件受注(2018年にすでに4件受注済み)したほか、2022年初頭にEXE:5000の量産機「TWINSCAN EXE:5200」の最初の注文を受けたという。またDUV事業では、KrF露光装置「TWINSCAN XT:860M」が2021年末に最初の顧客向けに出荷。2022年は新モデルとなるXT:870を追加する予定としている。アプリケーション事業では、大量生産向けに設計されたマルチビーム検査システム「eScan1100」の出荷が2022年前半に行われる予定。同システムは25ビーム(5×5)の場合、対象となるインライン欠陥検査アプリケーション向けの単一電子ビーム検査ツールと比ベて、スループットを最大15倍向上させることが期待されるという。

2022年はさらなる成長へ

ASMLは、2022年第1四半期の売上高について33億ユーロから35億ユーロと予測している(保守管理収入分も含む)。ただし、2022年第1四半期に出荷される約20億ユーロ相当の露光装置の売上高については、フィールドでの正式な顧客受け入れテストが完了した後、次の四半期の売り上げに計上されるとしている。

また、2022年通年の売上高としては前年比約20％増と2桁成長が続くものと予想している。先日発生した独子会社ASML Berlinの建物の一部での発生した火災の影響を加味したものとしており、2022年の出荷計画に大きな影響を与えることはない見込みだとしている。