東京エレクトロン(TEL)の韓国法人であるTokyo Electron Koreaが韓国における装置技術研究開発(R＆D)インフラ施設の増設に向けて1000億ウォン規模(100億円弱)の投資を行う見込みであると、韓国の経済新聞が報じている。

韓国の半導体関係者によると、Samsung ElectronicsとSK Hynixという2大半導体メーカーが進める先端半導体プロセス研究開発を、より密接に側面から支援することを目的としたものだと見られるという。

今回の投資は、同社が韓国内に保有する研究開発拠点を増築し、製造装置を開発してテストできるクリーンルームの規模を拡大することを主な目的としており、工事の完了は2023年を予定しているという。これまでも同社はR＆D施設でSamsungやSK Hynixと、次世代メモリやファウンドリの最先端製造ラインに活用できる装置を顧客ニーズに合わせて共同で開発してきたが、増築することで、その協業体制が強化されるとみられる。

なお、TELの韓国法人は2006年に設立されて以降、1300億ウォンを投じて、韓国の大手半導体メーカーが有する各事業所の近接地7か所に合計7万5000m2規模の拠点を確保するなど、半導体メーカー各社と密接な連携を進めており、こうした韓国での投資ならびに人材の採用活用が評価され、同社は韓国政府産業通商資源部(日本の経済産業省に相当)が主催した「2021外国企業の日行事」で表彰されている。

また、同社の本拠地は、いわゆる「K-半導体ベルト」の中心に位置する龍仁市にあり、SK Hynixがファブ4棟と装置素材協力会社約50社を集結させる半導体クラスタの整備を進めるなど、半導体拠点化が進んでいる。このほか、TEL以外にも、ASMLやLam Researchなどといった大手半導体製造装置メーカーの韓国法人も韓国内での新たな製造、研究開発とサービスインフラの拡充に向けて動き出しているという。