ニコンは10月26日、第6世代ガラス基板に対応するFPD露光装置「FX-6AS」を2021年11月上旬より発売することを発表した。

液晶パネルや有機ELパネルなどのFPDは、高精細化、薄型化、フレキシブル化などといった高機能化が進んでおり、それを実現する技術としてLTPO(Low Temperature Polycrystalline Oxide)が注目されている。同装置は、同技術を実現するために求められるパネルの回路パターンをより細く、線幅を均一にすることを可能とすることを目的に、新開発の投影レンズを搭載することで、高解像度化を実現。回路パターンを露光する際、バイナリーマスクを使用した場合は1.2μm(L/S)、位相シフトマスクを使用した場合は1.1μm(L/S)の解像度を実現したという。

また、投影レンズも新たに開発。レンズが持つ収差を最小化したほか、稼働時の振動や温度などによる影響を抑制する新型ボディを採用することで、アライメントマークの計測精度を向上。±0.23μmの高精度アライメントを実現したという。

さらに、光源波長は従来モデル同様のi線であることから、既存の露光工程周辺の製造プロセスを変更することなく、高解像度への対応を図ることが可能になるともしている。

このほか、ステージの改良や照度の向上なども行われており、それにより1度の露光にかかる時間を短縮することが可能となったため、バイナリーマスク使用時で毎時85プレートの高スループットを実現できるとしている。

  • FPD露光装置

    「FX-6AS」の外観 (提供:ニコン)