SK Hynixが本社の研究開発部門にEUVタスクフォースを設立し、EUVリソグラフィのDRAM製造への導入準備を進めていると複数の韓国メディアが報じている。また、親会社のSKグループも国内外のEUV関連素材メーカーへの投資や買収に乗り出しているとも報じられている。

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    SK Hynixの利川本社工場 (出所:SK Hynix Media Library)

同タスクフォースは、2019年に設立され、EUV露光技術だけでなく、その後に回路を刻むエッチングやEUV用マスクの製造技術などEUV工程に必要な全分野を細かく分けて体系的に開発しているという。チームリーダーにはSK Hynix副社長のチョン・テウ氏が就任し、陣頭指揮をとっているという。同氏はSK Hynixの最初の10nm台DRAM開発プロジェクトや次世代NANDフラッシュの研究開発にも参加した経験を持つエッチング分野の専門家であるという。

SK Hynixは、Samsug同様に「EUV工程は2021年、次世代となる1a-nm(第4世代10nm台)プロセスのDRAMチップの量産から適用する計画だ」としており、本社がある利川キャンパスに建設中の新工場M16にEUV専用ラインを設置する計画だという。

韓国半導体業界の関係者によると、「SK Hynixは、EUV工程を先に導入した競合企業よりも研究開始時点が遅いのは事実だが、体系的な緻密な開発と親会社SK Holdimgsやグループ会社の積極的な支援により技術開発が非常に急速に進んでいる」という。