半導体および装置材料市場調査会社会社である米VLSIresearchは、1988年より毎年実施している半導体製造装置サプライヤの顧客満足度調査結果の2020年版をランキング形式で発表した。

同ランキングは、世界中の半導体製造装置ユーザー(主に半導体工場エンジニア)に、技術的リーダシップ、パートナーシップ、信頼性などの「サプライヤの実力」、アフターサービス、エンジニアリングサポートなどの「顧客サービス」、生産性、プロセス品質、稼働率などの「装置性能(ソフトウェア含む)」などの質問に10点満点で回答してもらった結果を集計したものに基づく。

採点結果を、9点以上に最高評価の星5つ、8点以上に星4つ、7点以上に星3つといった形で分類しており、今回のランキングでは、総合点で7点以上を獲得した大手装置メーカー9社と専門企業(売り上げ規模が比較的小さな特定分野専業の中小企業あるいは大企業の1部門)8社が公表された。同社は7点以上の企業のみ公表する方針のため、ランキングは必ずしもトップ10といった形にならない。また、2020年版は特に専門企業に対して全般的なユーザーの評価が例年より厳しかったという。

大企業の順位は以下のとおり(カッコ内はレーティング)

  • 1位 アドバンテスト(9.50)
  • 2位 TERADYNE(9.48)
  • 3位 ASML(9.31)
  • 4位 ASM Pacific Technology(8.92)
  • 5位 KOKUSAI ELECTRIC(旧:日立国際電気)(8.35)
  • 6位 東京エレクトロン(8.34)
  • 7位 Lam Research(8.21)
  • 8位 Applied Materials(8.00)
  • 9位 日立ハイテク(7.64)

専門企業の順位は以下のとおり(カッコ内はレーティング)

  • 1位 Plasma-Therm(9.02)
  • 2位 FormFactor(8.91)
  • 3位 EVG(8.86)
  • 4位 Cohu(8.82)
  • 5位 Axcelis Technologies(8.21)
  • 6位 キヤノン(7.91)
  • 7位 ニコン(7.58)
  • 8位 SUSS MicroTec(7.25)

同社によれば、大手企業は、全般的にソフトウェアに関する評価を除き、すべての項目で昨年より評価を上げたという。これに対して、専門企業は、14項目中11項目で評価を下げたという。なお、各社ごとの詳細な分析結果については後日発表される予定だという。

  • VLSIresearch

    半導体製造装置メーカー顧客満足度ランキング (出所:VLSIresearch)