清華紫光集団、DRAM工場建設を計画 - 量産に向けた課題は製造技術の確保

中国の清華紫光集団(Tsinghua Unigroup)の中核半導体メーカーである長江存儲科技(Yangtze Memory Technologies:YMTC)が重慶で64層256GビットNANDの量産を開始したが、同集団は8月末に重慶で開催された中国国際知能産業博覧会(China Smart Expo 2019)や9月上旬に上海で開催された中国国際半導体博覧会(IC China 2019)でその300mmウェハを展示した。

• 64層256Gビット3D NANDを作り込んだ300mmウェハ。YMTC独自のXtacking技術が採用されているという (出所:清華紫光集団Webサイト)

清華紫光集団は、このNAND事業とは別に、新たにDRAM事業にも参入すべく具体的な動きを始めた。6月30日付けで、新たに「DRAM事業グループ(社内カンパニー)」を新設し、台湾のDRAMメーカーだったInotera Memories(現 Micron Technology Taiwan)の元董事長Charles Kao氏を最高経営責任者(CEO)に任命したことを明らかにしていたが、続いて8月27に重慶市の両江新区にDRAM事業本部を設置し、DRAM研究開発センタとDRAM量産工場を設立する協約を重慶市人民政府と締結した。紫光集団は2019年末に工場建設に着工することを決めているという。同工場は、2021年に竣工後、DRAMウェハの生産を開始する予定だという。YMTCやその母体で現在は子会社になっているXMCも同じ重慶にあり、今後、同地が中国における半導体メモリ量産基地として注目を浴びることになろう。

• 中国重慶市を紫光集団のDRAM事業の中心基地(本部、工場、研究開発センタ)にする重慶市人民政府と紫光集団との協約調印式典の様子 (出所:清華紫光集団Webサイト)

最大の課題はDRAMプロセスの開発 - TrendForce分析

台湾の半導体市場動向調査会社TrendForceは、「今回のDRAM製造計画は、『中国製造2025』戦略に沿った中国政府の半導体自給自足体制確立の一環だが、米中貿易紛争の長期におよぶ激化と米国政府による中JHICCのブラックリスト登録によるDRAM工場立ち上げ中断により中国政府は国内のDRAM産業を構築する努力を倍加せざるを得なくなっている。しかし、中国のDRAMビジネが直面する最初の主要な課題は製造プロセス技術の開発だ」との分析結果を公表している。

紫光集団は JHICCや中CXMTなどのDRAM専業とは異なり、DRAMの専門知識を提供できる外部パートナーがいない。JHICCは、米国政府のエンティティリストに掲載されてしまったが、台湾UMCとのパートナーシップからすでにかなりのノウハウを獲得している。当初、JHICCのプロセス技術開発は、UMCが関与することで可能になったが、UMCとJHICCはMicron Technology TaiwanからDRAM技術を不正に獲得したとして米国司法省から起訴されているほか、JHICCは米国政府から半導体製造装置や部品の禁輸措置が取られている。一方、CXMTは、TrendForceによれば、DRAM製品を開発するために、倒産した独Qimandaから主要なプロセス技術ライセンスを取得しているという。紫光集団の場合、そのIC設計子会社であるUnigroup Guoxin Microelectronicsが、かつて存在したQimonda西安工場の設計部門の流れを組んでおり、メモリ製品の設計を支援するR&D機能を備えている。ただし、紫光集団DRAM事業部門は、DRAMを製造する技術を持ちあわせていないとTrendForceは指摘している。

紫光集団が単独でDRAM製造プロセスを開発する必要がある場合、製造プロセスの完成には3〜5年かかる可能性がある。そのため、重慶の工場が完成し、2021年に計画どおりに少量生産を開始したとしても、工場の運用が経済効果を得られる量産体制に到達するまでにはさらに長い時間がかかると思われる。そうした本格量産までの期間をいかに短縮するか。かつてInoteraのトップであったKao CEOの人材リクルート能力に期待が寄せられているという。

2014年にもDRAM市場参入を試みた紫光集団

また、TrendForceは紫光集団のDRAM市場参入の動きについて、実は今回が最初ではないことを指摘している。というのも、同集団はDRAM開発を2014年に行うことを決定しており、2015年にDRAM技術取得のためMicron Technologyを買収しようとしたが、米国政府に阻止され、失敗に終わっている。同年、紫光集団は、東芝(現 東芝メモリ)と協業中の米Western Digitalに出資しようとしたがこれも失敗に終わった。その後、国営国策企業という立場もあり、産業成長と地域経済開発のバランスをとる幅広い戦略を検討する必要があることから、DRAMビジネスへの参入計画を棚上げし、NAND開発を優先することにしていた。

今回、紫光集団がDRAM開発に焦点を移した理由の1つは、JHICCに対して米国政府によって課された技術輸出制限があるとTrendForceは見ている。2018年11月から施行された制裁措置により、JHICCの生産スケジュールとR&Dロードマップは不確実なものになってしまった。もう1つの国内のDRAMメーカーであるCXMTは、2019年末ころをめどに量産を開始する予定となっているが、少なくとも2020年の終わりまでに生産量を拡大することはないとみられる。中国政府は、米国との貿易紛争による逆風のなかで、国内のメモリ会社1社だけではDRAMを自給自足するには十分ではないと考えているようであり、そこで、紫光集団が他の国内メモリ企業が直面する課題と国際貿易の緊張の高まりに関連する外部要因により、DRAMの開発と製造の使命を再び担うことになったとTrendForceは見ている。