東京エレクトロンデバイス（TED）は8月6日、生産設備の稼働状態変化を検知する稼働監視AIの生成・監視を自動で行い、稼働監視運用を支援するクイックAI監視ソフトウェア「CX-W」の販売を開始した。

  • CX-Wの監視画面

    CX-Wの監視画面

CX-Wは、通常の稼働状態からの変化をとらえ警告指数として定量的に記録・表示するソフトウェア。装置ごとの稼働情報から監視用AIを現場で自動生成し、リアルタイムに稼働監視し変化をとらえるという。

製造装置から通常稼働中のデータを取りこみ、その数値分布や相関関係を学習し、装置の種類や特性、製造品などに合わせた装置ごとの監視用AIを生成。学習データを個別に用意する必要がなく、監視用PCにインストールするだけで簡単に監視用AIの生成・監視ができるという。

また、監視中に製造装置の稼働状態に変化があった場合は、原因となったデータの種類と変化の度合いを示す警告指数を判定結果としてPC上に表示するため、ユーザーはすぐに予知保全対策を講じることができるということだ。

同ソフトウェアの動作環境は、CPUがARM系またはx86系、OSがWindowsまたはLinux（32bit/64bit）、推奨メモリは2GB以上、1つのUSBポート（認証用USB挿入用）。