SEMICON Japan 2018 - ライン上でスラリの粒度分布測定が可能な装置

12月12日から14日にかけて東京ビッグサイトにて開催されているエレクトロニクス製造サプライチェーン総合展示会「SEMICON Japan 2018」において、日本インテグリスはインラインでCMPスラリなどの粒度分布のバラつき測定を可能とする「AccuSizer Mini」の実機デモなどを行っている。

同装置は、同社の個数カウント式粒度分布測定器「AccuSizer A9000」シリーズをスラリの製造ラインや供給装置などに搭載して、ライン上でのスラリの品質管理を可能としたモデル。性能的にも大型装置との差はなく、搭載するセンサ次第となるが、0.15～400μmまでの粒経と粒子数を測定することが可能となっている。

また、粗大粒子が増加した際にはアラーム発信が可能なほか、リアルタイムモニタによるトレンド分析も可能で、同社ブースのデモとしては、色のついた水道水を装置の中に通し、その中の不純物の粒径や粒子数を表示するというものとなっていた。

「AccuSizer Mini」のデモの様子

また、このほか、同社ブースでは同じく個数カウント式粒度分布測定器「AccuSizer A7000」シリーズの紹介なども行なわれている。こちらは、光散乱方式と光遮蔽方式の2つの原理の検出方式を併用した測定器で、希釈溶媒は電気抵抗式で用いられているような電解液である必要はなく、水から有機溶媒まで幅広い溶媒に対応できることが特徴だという。粒度は0.5～400μmまでとなっており、サンプルを最適な濃度まで自動で希釈することも可能となっているほか、オートサンプラもオプションで用意されており、サンプルの自動投入や多検体の自動連続測定といったことも可能となっているという。