KLA-Tencorは8月17日、新たな光学＆EUVレチクルブランクス検査用FlashScan検査製品ラインを発表した。

KLA-Tencor FlashScan

「FlashScan」は、光学または極紫外線(EUV)リソグラフィ用に設計されたレチクルブランクス検査を行うためのシステム。使用目的は、ブランクスメーカーではプロセス開発の際の欠陥管理と大量生産のために、レチクルメーカー(マスクショップ)では、受け入れ検査や装置モニタリング、プロセス管理のために使われる。

同社のウェーハ欠陥検査ポートフォリオにあるレーザー散乱技術を活用し、生産または開発下にある光学およびEUVブランクスの感度とスピード要件を満たす。レチクル検査市場でも独自の3チャンネルコレクタは、ブランクスの製造または出荷時に出現する恐れのあるフォトレジストのピンホールやパーティクル落下物など、さまざまなレチクルブランクス上の欠陥を検出、サイジングおよび分類化する目的に設計されている。

KLA-Tencorのレチクル＆ブロードバンド・プラズマ・ウェハー部門担当ゼネラルマネジャー、Yalin Xiong博士は次のように述べている。「欠陥のないEUVブランクスの製造は難しくコストもかかり、EUVリソグラフィが次世代チップ製造にもたらすであろうプラス面が立ち遅れてしまうと言われてきました。当社の新しいFlashScanブランクス検査機器は、ベア基板、吸収膜およびフォトレジスト膜上の欠陥種を広範囲に捕捉します。さらにFlashScanシステムは、現在市場に出回っている他のシステムに比べ高度な処理能力と感度を備え、ブランクスメーカーやマスクショップの学習サイクルを加速するという特徴を持っています」。

なお、同社は1978年の検査システム導入以来、パターン付きレチクル検査の分野で大きな存在感を示してきたが、今回の新しい製品ラインによりレチクルブランクス検査に特化した市場へ参入したことになる。