三菱マテリアル、スパッタリングターゲットの「量産技術センター」を新設

三菱マテリアルは7月28日、円筒型および大型平板のスパッタリングターゲットの量産技術の開発・製造に向けて、基幹工場である兵庫県・三田工場に「量産技術センター」を新設したことを発表した。

スパッタリングターゲットは、対象とする基板に原子レベルで合金や金属酸化物などの物質を付着させ、薄い膜を形成するための電子材料。近年では、フラットパネルディスプレイや太陽電池などの基板の大型化に伴い、大きな面積の対象基板に均質な膜を形成できるスパッタリングターゲットの需要が高まっている。

同センターでは、円筒型および大型平板スパッタリングターゲットの量産技術の開発とその製造を行う。円筒型、大型平板ともにG10級(3m超)への対応が可能だという。