オムロンは3月29日、変位センサの新シリーズとして、センサヘッドを移動させながら連続してミクロンオーダーの高精度で測定できるファイバー同軸変位センサ「ZW-7000シリーズ」を2016年4月1日より発売すると発表した。

「ZW-7000シリーズ」の外観

同シリーズは、センサから白色光を色別(波長別)に集光位置を変化させて照射し、焦点を結んだ波長光だけを反射光として受光し、その色情報にとって高さを測定する「白色共焦点方式」を搭載。従来のレーザー三角測距方式では不安定となっていたざらつきのある粗面を移動しながらの測定においても、安定して正しく測定することを可能とした。

並列処理を行うことで、測定タクトの短縮を実現したほか、方向の制約もないため、センサヘッドの回転工程なども省略することで、さらなる測定タクトの短縮を図ることもできる

また、小型サイズのセンサヘッドを複数台並べて同時測定することにより、測定タクトの短縮化を実現したほか、1つのセンサヘッドで異なる材質・形状の部品を測定することを可能としたため、測定対象物に合わせたセンサヘッドの購入検討や設計が不要となり、立ち上げ工数の低減も可能とした。さらに、ラフな設置でも安定測定できるため、対象物に応じたセンサヘッドの取付調整の工数を削減することもできるという。

1つのセンサヘッドで複数用途に対応することができるため、立ち上げ工数の低減なども可能

加えて、センサヘッド部は光学部品のみで構成されているため、電気的なノイズや磁気的なノイズは受けないことから、ヘッド周辺のEMC対策や熱対策を不要化することができるため、従来の変位センサでは配慮が必要だった周辺対策をなくすことができる。

なお、同シリーズは測定範囲別に3製品だラインアップされており、いずれも外形寸法が30mm×30mm×76.25mm、サンプリング周期が最速20μs、質量が約180gとなっている。