アルバックは9月3日、使用中のドライ真空ポンプに接続することで消費電力の削減を可能としたドライポンプ省電力化アタッチメント「ECO-SHOCK ES4A」を開発、販売を開始したと発表した。

同製品は、生産ラインの中でも消費電力が大きいドライ真空ポンプの消費電力削減を目的に開発されたもの。主に、仕込取出し室の頻繁な繰り返し排気を行うドライ真空ポンプや、N2のようなシールガスの使用量が多いドライ真空ポンプなどに適用が可能だという。

同社のドライ真空ポンプの原理は簡単に説明すると、ロータが収まった部屋(ケーシング)を多段構成させ、各ケーシングにてロータを回転させることで空気を圧縮し、次段のロータがある部屋にそれを送ることで、真空度を引き上げていくといったもの(多段ルーツ型)。同製品は、その最終部分である逆止弁部分に取り付けることで、吸気口と排出口の圧力差をなくし、多段ロータ部分をより真空に近づけることにより、ポンプに搭載されているモータの電力消費量を減らすことを可能とし、それにより電力削減を可能としたもの。ポンプの能力を変えずに消費電力を削減できるため、既設の設備にも取り付けることも可能だとするほか、すでにアジア各国での特許も取得済みだという。

具体的な削減量については、例えば通常使用で3.2kW程度の消費電力であったものを1kW未満へと落とすことが可能とのことで、300Lのチャンバを60秒のタクトで繰り返し排気をした場合、何もつけない場合と比べて34%の電力削減になるという。また、シールガスが10L/minといった環境でも電力消費量を50%程度削減することが可能であり、第8.5世代の液晶工場1ラインあたりで200台程度取り付ける箇所があるとのことで、すべて取り付けた場合、年間で電力料金が9811万2000円の削減が見込めるとする。

なお同製品は、すでに販売を開始しており、価格は59万円(税別)から。初年度300台の販売を目指すとしている。

ドライポンプ省電力化アタッチメント「ECO-SHOCK ES4A」