AMAT、太陽電池製造向け全自動ウェハ検査装置を発表

Applied Materials(AMAT)は5月20日(上海現地時間)、高効率太陽電池の製造コストを引き下げて平均歩留まりを高める機能を備えたソーラーウェハ検査装置「Applied Vericell」を発表した。

同装置はウェハ検査を100%インラインで行うことで、手作業のレビューに比べて検査の質を向上できるほか、フォトルミネセンス(PL)技術によるウェハセル効率の自動予測機能により、品質基準と歩留まり仕様に適合したウェハのみを加工することで利益性を高めることを可能とする。このセル効率予測の平均予測誤差は多結晶シリコンウェハで0.15%以内だという。

また、ウェハ厚さとバラつき、歪み、抵抗率などのパラメータについても測定・報告が可能で、ソーマーク、エッジ欠け、汚れ、マイクロクラックなどの欠陥も検出可能だ。さらに、手作業の検査で生じるウェハ破損リスクやコストの抑制が可能になるほか、独自の歩留まり管理ソフトウェアを用いて、リアルタイムでデータの収集・統合・分析を行い、武曽真理の影響を及ぼす事象を迅速に突き止めて対応することで、工場生産性の向上を図ることが可能になるという。