アドバンテストは5月14日、中国車載市場向けタイヤ空気圧監視システム(TPMS)に搭載されるMEMSセンサの最終テスト用にテストシステム「V93000」プラットフォームのテストセルを発表した。テストセルはOSATを含む複数の顧客施設で生産稼働中という。

今回のテストセルは「V93000 Smart Scale」プラットフォームと、最大1024ピンで高効率マルチサイトテストを可能にするスモールテストヘッド「A-class」、デジタルチャネルモジュール「Pin Scale 1600 ユニバーサル・ピン」に加え、他社のハンドラと圧力刺激装置で構成されている。このテストセルは、リソースを切り替えることなくMEMSセンサデバイスのすべてのテスト項目を包括的にカバーし、高いスループットを実現している。最大1.6GbpsのデジタルI/Oプロトコル、組み込みフラッシュ(eFlash)などの不揮発性メモリ、A/DおよびD/Aコンバータ、315～433MHzのUHFトランスミッタのテストに対応する。

また、同社のソフトウェア「SmarTest」は、テストセルの運用効率を向上させる。「SmarTest」は複数台のハンドラを接続したテストセル構造を可能とし、将来の量産能力拡大を実現する。さらに、豊富なセンサテストライブラリを備え、容易でスピーディなテストプログラム開発に寄与する。

「V93000 Smart Scale」は、デジタルとアナログのテスト機能を兼ね備え、高い同時測定性能と、フルパフォーマンスのウェハソートテストソリューションでテストコストを削減する。「V93000」で最もテストヘッドの小さい「A-Class」構成は、省スペースと低消費電力に優れ、テストコスト削減に貢献する。「Pin Scale 1600」はマルチサイト効率の高いパーピン試験を可能とし、高いスケーラビリティを提供する。DC～1.6Gbpsのデータレート、従来ピンカード比2倍もしくは4倍の集積度、ピンごとの非同期なクロック設定が可能なclock-domain-per-pinの他、protocol-engine-per-pin、PRBS-per-pin、SmartLoopなどの機能が搭載され、デバイスの実使用環境に近いシステムライクストレステストを提供する。