三菱マテリアルは3月10日、厚さ100μm以下で曲げても動作するサーミスタセンサを開発したと発表した。

世界最薄/曲げて使用可能なフレキシブルサーミスタセンサ

サーミスタセンサとは温度を検知するためのセンサで、スマートフォンやパソコンなどの電子機器、エアコン、自動車などに使われており、近年では小型化や薄型化、熱応答性の高速化などのニーズが高まっている。

同製品は、厚さ50μmのポリイミドフィルム上に0.1μm～0.2μmのサーミスタ薄膜を直接形成したもの。電極や保護膜を含めたセンサの厚みは70μm以下で、現時点で「世界最薄」のサーミスタセンサだという。曲率半径6mmまで曲げても動作する。

また、薄型化したことで従来品に比べ約6倍以上の高速な熱応答性を実現し、動作する温度範囲も従来の-40度～125度より幅広い-40度～200度となっている。

曲率半径6mmを実現