リオン、0.03μm粒子まで測定可能な液中パーティクルセンサを発表

リオンは2月12日、フッ化水素酸溶液に対応した液中微粒子計測器として、液中パーティクルセンサ「KS-19F」を発表した。

同社では、薬液中の0.04μm粒子を計測する液中パーティカルセンサを市場に投入してきた。しかし、先端の半導体市場においては、さらなる微小プロセス技術が進んでおり、半導体工場や材料・薬液メーカーの品質管理では、より微小な粒子まで計測するニーズが高まっている。そこで今回、薬液中の0.03μm粒子まで計測可能な液中パーティクルセンサを投入することで、市場ニーズに対応するととともに、大手半導体メーカーをはじめ、関連する材料・試薬メーカーに受注拡大を図っていくとしている。

なお、価格は1500万円。2月24日より発売する。初年度で20台の販売を計画している。