村田製作所、高精度・低消費電流の静電容量型MEMS気圧センサを開発

村田製作所は1月29日、高精度・低消費電流の静電容量型MEMS気圧センサを開発したことを発表した。

同製品は、同社が2012年1月に買収したMurata Electronics(ムラタ・フィンランド)の静電容量型MEMS技術を活用したもので、同技術により温度変化により気圧の検出データにドリフトが生じやすいという課題を克服、ノイズレベルを5cm相当に抑えることで、ほとんど影響を受けずに正確なデータを取得することを可能とした。

また、静電容量型を採用したことで、低消費電流化を実現。これにより、ナビゲーションシステムやポータブルヘルスケア機器などの小型機器での長時間利用が可能になるという。

なお同製品は2014年冬に生産を開始する予定だという。