東陽テクニカは12月19日、同社が2012年5月より発売している白金シリサイド(PtSi)導電性プローブについて、これまで利用したことがないプローブ顕微鏡ユーザーに向けて評価用サンプルを無償で提供することを発表した。

プローブ顕微鏡は物性顕微鏡として、電子デバイス・材料・生体分野など幅広いアプリケーションで用いられており、特に半導体や電子デバイス、それらに使われる機能性材料分野では、試料の導電性評価に向け、電流マッピング機能や表面電位機能、キャパシタンス測定機能などとして使われている。

しかし、一般的な導電性プローブはスキャンを何度も繰りかえすと金属コーティングがはがれてしまし、そのたびに交換する必要があった。また、高耐久度を実現したダイヤモンドライクカーボンプローブもあるが、金属プローブに比べて抵抗が高いことから、利用できるアプリケーションが限定されるという課題があった。

PtSiプローブは、曲率半径の小ささ、優れた導電性、高耐摩耗性といった特徴を有しており、そうした課題に幅広い用途で対応が可能だという。

今回提供される評価用サンプルは用途に応じて3種類があり、サンプルとして2本が提供される。

なおサンプルの申し込みや見積もり、資料請求などは同社の専用フォームから申請する形となっている。また受付期間は2014年2月末までとなっている。

PtSi導電性プローブ